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华虹集成电路请求研磨机台晶圆滑出勘探设备抗搅扰侦测办法专利极大地减少了晶圆滑出勘探设备的误侦测报警

  国家知识产权局信息数据显现,华虹集成电路(成都)有限公司请求一项名为“研磨机台晶圆滑出勘探设备抗搅扰侦测办法”的专利,公开号CN121340124A,请求日期为2025年10月。

  专利摘要显现,本请求供给一种研磨机台晶圆滑出勘探设备抗搅扰侦测办法,选用双光路光强比值检测经过主光路和参阅光路的信号比消除共模搅扰,结合双光路光强比值的静态均值与动态导数剖析,仅当静态和动态条件一起满意时触发机台报警。极大地减少了晶圆滑出勘探设备的误侦测报警,减少了由于误报警导致的晶圆氧化作废,以及减少了工程师处理机台报警的额外负担。

  天眼查资料显现,华虹集成电路(成都)有限公司,成立于2023年,坐落成都市,是一家以从事计算机、通讯和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2280000万人民币。经过天眼查大数据剖析,华虹集成电路(成都)有限公司参加招投标项目131次,产业线条,此外企业还具有行政许可119个。

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